优点:
1.高平整度
2.高晶格匹配度(MCT)
3.高红外透过率
4.低位错密度
优点:
1.高平整度
2.高晶格匹配度(MCT)
3.高红外透过率
4.低位错密度
密度(g/cm3) |
5.8 |
晶向 |
<211><111> |
晶向偏差 |
≤ ±0.3° |
导电类型 |
P型 |
红外透过率 |
≥60% (2.5μm - 20μm) |
双晶衍射半峰宽 |
≤30 rad.s |
腐蚀坑密度 |
1x105/cm2 <111>; 5x104/cm2 <211> |
表面 |
单面抛光/双面抛光 |
表面粗糙度 |
Ra≤5nm |
包装 |
膜盒 |
LaAlO3衬底
MgO衬底
BaTiO3衬底
SrTiO3衬底
KTaO3衬底
CdTe衬底
LSAT衬底
BGO单晶
MgAl2O4 衬底
Ge衬底
LiAlO2 衬底
CdTe衬底